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随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点，而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容，易于实现数字化、智能化以及批量生产，因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。其
2026-06-17
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随着科技的日新月异，电子制造行业正迈向一个崭新的发展阶段，充满无限可能。在这一宏大的时代背景下，北方工业大学的集成电路工艺与封测公共服务平台凭借其尖端设备和精湛工艺，为整个电子制造行业的繁荣发展提供了坚实的支撑。接下来，我们将深入剖析该平台的关键设备，以揭示它们如何为电子制造技术的进步注入强大动力。一、标准型离子束刻蚀机IBE-150B这款刻蚀机采用φ150mm口径的考夫曼型离子源，结合双钼栅离子
2026-06-17
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